二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9275294 待售
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ID: 9275294
晶圆大小: 12"
12"
Process: Extensa Su
Magnet
Cryo pump OB-IF8
Gate valve: VAT
Heater: 0010-24456
Adaptor: 0040-89818
Manometer: 1350-00255
ATM gauge: W117V-3H-F12M-X30014
Capacitance pirani gauge: 3310-00073
Pedestal integration box: 0010-28071
Hot ion / Pirani gauge: 0190-26769
Shutter sensor assembly: 0190-10801
Source assembly: 0010-44917
Angle vacuum valve: AVT-150M-P-03
Heater lift motor
Wafer lift motor: MQMA012AF
Shutter motor: PK564AW2-A8
Drivers:
Heater driver: 3096-1007
Wafer lift driver: 0190-15328
Pedestal driver: PV2A015SMT1PA0-C1
Magnet rotation driver: BXD400B-S
MFC:
AR 50
AR 20
N2 92
No 5-Phase driver
No ISAC CP 10 Block board
No defective power supply.
AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Endura室是一种物理气相沉积（PVD）反应器，设计用于各种工业的各种生产应用。聚氯乙烯是一种沉积过程，它涉及到源材料的蒸发，以便在基板上产生固体薄膜。Endura商会为各种行业提供了可靠和成本效益高的沉积手段。Endura气室采用主动抽水系统，可输送高纯度、高压气体。该系统还包括一个用于蒸发要沉积的材料的大功率源。该源由灯丝型钨船、三极管加热灯丝或电子枪组成。该室还包括几个安全特征，如石英窗密封件、泄漏探测器和爆炸性气体探测器。腔室由不锈钢、UHV兼容铝和其他耐腐蚀材料构成。该室还包括两个大气层视口，可用于观察和监测沉积过程。视孔是光学密封的，以防止内部的污染。Endura Chamber旨在实现高生产率、重复性和重复性。其基于计算机的控制系统支持自动化配方和数据收集、过程监控以及其他高级功能。它旨在满足大批量生产的要求,并能够维持高达1100 °C的温度。除了在沉积过程中提供可靠性和灵活性外，Endura商会还有助于尽量减少与过程有关的费用。这是由于它易于维护和低运营成本而实现的。此外,它的效率和先进技术有助于提高流程生产率,同时保持最高质量标准。总体而言，AMAT Endura PVD室提供了一种可靠和经济高效的物理气相沉积方法。其先进的安全控制特性，加上可靠性和灵活性，使其成为许多生产应用的理想选择。
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