二手 AMAT / APPLIED MATERIALS PVD Chamber for Endura #9375957 待售

ID: 9375957
晶圆大小: 8"
8" With pump.
与Endura平台配合使用的AMAT PVD腔室是薄膜材料物理气相沉积的先进工具。这种先进的工艺室设计用于对各种基材的沉积环境进行精确的控制。腔室与广泛的工艺兼容,包括金属、合金和复合沉积。PVD腔室本身是一个大型圆柱形外壳,由坚固的钢体制成,由重型金属加工而成,为了符合人体工程学和结构完整性。腔室内部是一个真空兼容的电动机和风扇组件,它为沉积过程提供精确和受控的质量流动曲线。这款高效电机连接到精密驱动机构,可控制精密转速,确保沉积在基材上的层或膜的精度和均匀性。该室还具有若干安全特性,包括防止在过程运行过程中打开腔室的安全互锁,以及在发生意外漏斗断裂时确定从腔室内部到外部的加工压力线的机械壁。腔室还包括一个靠近外壳顶部的透明窗口,使技术人员可以在进程运行过程中目视检查内部。Endura平台的APPLIED MATERIALS PVD腔室附带的控制器是一个直观、易于使用的系统,可以通过计算机或移动设备进行管理。它提供了沉积过程的实时视图,使技术人员能够轻松地监视、分析和修改设置。控制器还提供了一个过程结束报告,其中包括关于周期数和已沉积物料量的详细信息。这些信息可用于优化沉积过程,并在多层基板的薄膜厚度、均匀性和一致性方面产生更准确的结果。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS PVD Chamber for the Endura platform is a advanced tool for thin presentation on a various of substates.它具有多种安全特性、最先进的电机装配和直观的控制器,在沉积过程中提供了卓越的控制、精度和精确度,一次又一次地产生精确的层和薄膜。
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