二手 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9035884 待售

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ID: 9035884
Chamber, 8" Version MOD-1 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS RTP是为半导体材料加工而设计的反应堆,由AMAT开发制造。反应堆配有先进的过程控制系统,确保准确和可重复的结果。它用于集成电路(IC)的制造,旨在实现具有高级特性和高性能的IC的制造。AMAT RTP是一种先进的热处理系统,用于多种应用,包括电介质沉积、扩散、回流和退火。该反应堆采用循环热处理,可提供更快的加工周期,提高基板的均匀性和可重复性。还配备了热成像技术,提供精确的温度控制和监控。反应堆可配置用于多种过程,包括化学气相沉积、氧化、快速热退火、回流和扩散。反应堆包括一个加热的石英管、一个石英观光池和一个积液池。石英管为基板提供加工空间,并允许它们在受控环境中加热和冷却。石英检视池含有反应性物质,而积液池则提供温度控制,并允许气体溷合物有效地应用于基质。还包括一个中央控制器,用于提供流程监控以及数据记录和归档功能。应用材料RTP是一种高效、高效、可靠的热处理系统.它的设计采用了坚固的材料和工艺,以确保高生产率和可靠的底物均匀性在数百万个加工周期。该反应堆是IC制造应用的经济高效的解决方桉;允许在较短的时间内完成复杂的处理。它还配备了自动化控制,以确保各种应用程序的性能一致并提高精度。这使得它成为IC制造的理想解决方桉,允许更高效的流程和更短的上市周期。
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