二手 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9103291 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS RTP是半导体製造业所使用的最先进的反应堆技术。它代表快速热处理（AMAT RTP），用于加快半导体结构的增长。APPLICED MATERIALS RTP是一种高度定制的技术，最大限度地提高硅片和其他基板的增长率。RTP的工作原理是将基板快速加热和冷却至特定温度（也称为温度剖面）.这些配置文件是根据所需的半导体材料增长对特定需求进行编程的。温度剖面与先进气体化学相结合，精确控制生长层的组成。AMAT/APPLIED MATERIALS RTP结合了热控制设备和负载锁定系统两个系统。热控制装置是控制基板温度分布的机器。当基板被加热和冷却时，各种气体如挥发性气体和惰性气体被引入预定水平，以协助热能传递。这些气体还提供额外的反应位点化学和速率控制，以加强热处理。例如,Endura 5500工具能够在特定应用中达到1000°C的温度。负载锁资产是保持清洁环境的真空室。在内部，样品船最多可容纳4-6个底物。为确保所需的温度剖面，船被真空密封并装载氮气，以营造一个受控的气氛。当船被疏散时，几秒钟内就达到了精确的温度。一旦船被装载和温度曲线设置，反应堆进行处理。将船放入石英管中，密封，加热至所需温度剖面。然后，引入反应性气体，加热气体在基板周围循环。结果是所需半导体层的精确增长。一旦过程完成，基板被运送到冷却室中，在那里冷却到室温。整个过程精确度高，产生极高的质量增长。这使得AMAT RTP成为现代半导体电路发展的可靠、精确的模型。