二手 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP #9225694 待售

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ID: 9225694
晶圆大小: 12"
Chambers, 12" Lamp housing Brazed Flex flange.
AMAT反应堆技术平台(AMAT/APPLIED MATERIALS RTP)是世界领先的工程半导体材料工艺开发和生产平台。在半导体工业中,AMAT RTP用于驱动器件小型化,通过减少晶圆制造中的循环时间来提高工艺速度。它是一个生产就绪平台,集成了低成本、高性能的高级沉积工艺,用于在高温和高压下开发和优化工程材料配方。APPLIED MATERIALS RTP平台提供的环境对于生产现代半导体设计所需的关键晶圆元件(例如特性和触点)至关重要。RTP有一个先进的沉积室,具有创新技术,能够通过改进的财产控制来沉积工程材料。该沉积室具有先进的工艺控制和诊断系统,能够在高温和高压下快速开发配方,以及对材料性能的精确控制。它还具有精确的温度控制和对材料成分的精确控制.工艺控制系统进一步实现了广泛的保形和非保形工程材料沉积策略,从而产生了现代半导体设计中使用的高度复杂的特征。AMAT/APPLIED MATERIALS RTP平台还旨在最大限度地提高流程开发的灵活性,提供跨多个地理区域的高效调度、可追溯的产品历史记录和产品访问。这样可以跨各种过程开发复杂的材料产品,同时最大限度地减少停机时间。它还提供了分析数据和评估产品的能力,而不会影响一致性。AMAT RTP的工艺室还包括多流气体喷射器、N2、H2生成系统、臭氧和氧气喷射等一系列先进的惰性气体喷射系统,以及活性氮下键和晶体旋转能力。这些特性使得晶圆制造过程,如快速热处理、低压化学气相沉积、快速外延和电化学沉积能够在同一环境中进行。该室的设计进一步优化了反应区性能,保证了沉积过程中的高温稳定性。总之,APPLIED MATERIALS RTP是一个先进的生产就绪平台,它集成了最佳的现代技术,以产生用于复杂半导体设计的关键特性,从而实现设备小型化和提高效率。该平台可用于开发在高温和高压下的工程材料配方,提供对材料成分和特性的精确控制,以及高效的工艺调度。它旨在提供一个全面的环境,使整个半导体过程中复杂材料产品的高效和可靠生产成为可能。
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