二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375619 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2是一种功能强大、可靠的蚀刻反应器，设计用于处理多种材料，包括硅、二氧化硅、移动物、铜、砷化移物等材料。AMAT Siconi R2是一种双面等离子体蚀刻反应器，具有两个独立的大功率腔室。每个腔室都能进行反应性离子蚀刻（RIE）和远程等离子体蚀刻（RPE）。APPLIED MATERIALS Siconi R2配备了灵活的电源设备，具有广泛的直流、射频和微波源，用于控制不同的过程。它还具有独特的板载电源管理系统,可轻松调整和优化流程配方。该单元利用多个单独的发电机通道，以实现最佳的灵活性和多功能性。Siconi R2还具有用于自动化流程和调度的高级软件和控制机器。它有一个内置的过程窗口功能和软件来监控蚀刻和沉积过程。该软件还允许远程访问和控制，以及高级数据分析和流程优化功能。为了获得最佳效果，AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2采用了先进的沉积和蚀刻技术。可使用的技术类型包括等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、溅射蚀刻、离子束蚀刻、反应性离子蚀刻、深反应性离子蚀刻、电子俘获灰化和反射法。AMAT Siconi R2还具有一系列安全功能，包括自动关机和用于保护的检测系统。为了最安全起见,也将腔室区域封闭起来.APPLICED MATERIALS Siconi R2还有一个专利气体分配工具，确保在整个基板表面均匀的气流和均匀的蚀刻。Siconi R2是一种强大可靠的蚀刻反应堆，非常适合加工多种材料。AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2具有先进的电源、软件和控制系统以及先进的沉积和蚀刻技术，是蚀刻和沉积工艺的绝佳选择。其安全特性和获得专利的气体分配资产使其成为加工任何类型材料的安全高效的选择。