二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi R2 #9375622 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi R2是一种用于半导体生产的大功率、高容量反应堆设备。该系统由底物支撑台和反应堆室两个主要部件组成。基板支撑台由不锈钢制成，在加工过程中支撑基板。反应堆室是由不锈钢製成的大气压合格真空室，用来为基板在过程中提供清洁安全的环境。AMAT Siconi R2有一个很大的功能集，提供精确和可重复的过程参数控制。该机组配备了射频发电机、提供均匀温度分布的精确风冷卡盘以及先进的实时气体控制机。射频发生器能够提供高达10瓦的射频功率,在整个周期中提供过程可重复性。风冷卡盘的设计目的是减少整个晶片的热梯度，允许均匀的工艺参数，如氧化物厚度和蚀刻深度。实时控制工具可在循环过程中实现精确的反应控制,确保一致的质量和可重复性。APPLIED MATERIALS Siconi R2为过程控制提供了一个最佳的环境,允许最高级别的过程可重复性,且刀具停机时间最少。对工艺参数进行精确、可重复的控制，提高了加工产量。该资产专为自动化生产而设计，是半导体器件制造过程中的重要环节。这种最先进的反应堆模型提供了一种安全、清洁和一贯可重复的大气，同时也实现了最大吞吐量。