二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi #293614941 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Siconi
ID: 293614941
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
CVD System, 12" 2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi Reactor是革命性的等离子体蚀刻反应堆,能够提供最高质量的工艺性能和可靠性。该反应堆是一种功能强大的多功能工具,可以为用户提供广泛的能力,从低k电介质蚀刻到高密度等离子体处理。该反应堆设计用于半导体工业中先进材料的蚀刻,使厚度在0.8nm至10nm之间的电介质蚀刻成为可能。AMAT Siconi反应堆具有一流的工艺控制,能够在室温至350摄氏度的广泛工作温度范围内实现完整的蚀刻均匀性。该反应堆利用最新的材料科学和等离子体加工技术,以经济的价格提供高质量、可靠的结果。其先进的过程控制系统无需人工干预即可实现可靠、可重复和高质量的结果。APPLICED MATERIALS Siconi Reactor还具有高度自动化功能,使用户能够编程、运行和监控其过程,而无需人工干预。这包括创建可应用于不同产品的多个自定义参数和配方的功能,而无需每次手动调整设置。此外,它的图形用户界面使得设置和监控流程变得容易。Siconi Reactor可以与各种其他系统集成,如输送机系统和异地设备。这允许用户具有更好的流程控制、更高的吞吐量和更高的灵活性,从而在流程中获得最高的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS Siconi Reactor也被设计用于原子层沉积(ALD)、化学气相沉积(CVD)和等离子体增强沉积(PED)等先进工艺。总体而言,AMAT Siconi反应堆为用户提供了一流的工艺能力和可靠性。它的高级功能和自动化过程控制旨在以经济的价格产生可重复的高质量结果。凭借其先进的功能,用户可以通过最少的手动干预实现最高级别的流程性能。APPLIED MATERIALS Siconi Reactor的使用者也可以利用其与各种系统的整合,以最大限度地提升其过程吞吐量和灵活性。
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