二手 AMAT / APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP #293640872 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS TCG Rack for Centura RTP是一种工业反应室，旨在支持半导体生产中使用的原子层的热控生长。该腔室允许在反应过程中精确控制温度、压力、反应物和环境。该单元由一个圆柱形反作用室、一个用于动力和控制的外室、一个安装在两个内壳和外壳之间的屏蔽装置、一个惰性气体引入设备以及几个安全特性组成。内室由真空密封不锈钢合金构成，设计可承受高压和高温。它有一个圆柱形的同心设计，用于精确的工艺气体自上而下的流动分布，一个7英寸的光学接入和RAMAN光谱窗口，一个可扩展的气箱，和一个独特的端口设计，注入反应物或样品点接近底物。装有电源和控制机构的外室提供高达1000 °C的温度和高达20 bar的压力。配置有进气歧管、冷却系统、排气孔和各种控制阀。屏蔽层设计为吸收化学蒸气，在内室和外室之间提供热隔离，而惰性气体引入单元则允许精确控制反应气氛。最后,还包括各种安全组件,如无源冷却机、热切断和全关机安全开关,以防止设备因停电或操作错误而出现故障。用于Centura RTP的AMAT TCG机架是一种先进的、高度可配置的反应室，非常适合薄膜的热控生长。通过这个单元产生的薄且均匀的层有助于半导体生产过程变得可靠、精确、高效。
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