二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665499 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE
ID: 293665499
晶圆大小: 12"
12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Producer SE Twin chamber for Producer SE is a reactor designed to substant in process performance on any stated process level双人分庭设有两个独立分庭,确保两个分庭同时进入。各个腔室可以更轻松地处理需要多步骤序列和/或高产品产量的复杂过程。反应堆的设计基于单一的模块化设备,具有通用的配置以及固定和移动解决方桉的选择,使其最适合特定的工艺条件。磁场用于提供均匀的加热和最小化温度差异。工艺管和三维线圈的设计保证了工艺温度和产品均匀性的最大统一性和准确性。这种设计也不需要外部介质供应设备。双室通过各种选择提供了很大程度的灵活性。集成的等离子体源允许多种等离子体过程,如氧气和氮反应离子蚀刻、啮合、金属蚀刻等。腔室还能够提供一种压力气氛,从而允许在各种压力下进行处理。Twin Chamber的控制系统具有共同的协议接口,允许使用各种软件包来控制过程。可为具有不同权限级别的多个用户配置控制单元,从而方便且安全地访问控制机器。反应堆与一套诊断工具和服务相结合,以确保过程结果的准确性和防止过程漂移。它还与数据记录工具集成在一起,以收集数据日志以进行流程审核和召回。双室的设计目的是在危险环境中提供尽可能最高的安全,并配备工艺室压力断裂监测和各种经安全认证的部件。它还具有先进的清洁资产,以防止产品污染和提高安全性。AMAT Twin Chamber for Producer SE确保在最苛刻的生产环境中性能和使用寿命达到最高水平。这使得它成为保持高产和敏感过程统一加工条件的理想工具。
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