二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665500 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE是一种处理器和/或蚀刻器，设计用于半导体制造过程，如选择性蚀刻。这个反应堆的发动机由蚀刻室和加工室两个腔室组成。两个腔室的设计都能承受高温和真空水平。蚀刻室由电子冲击蚀刻（EIE）源组成，具有四极管或磁控管放电模式。EIE源产生电子用于生成高能离子，从而提高蚀刻速率和工艺选择性。该工艺室具有感应耦合等离子体（ICP）源，以产生更高长宽比的难以蚀刻材料蚀刻。ICP产生高压等离子体用于反应性策略，导致对材料的损害较低。生产SE的AMAT Twin室的泵浦设备是为极低泄漏操作而设计的。高真空泵送可产生多种工艺操作压力,从而实现高分辨率蚀刻加工。还提供了一个自动优化程序,它允许在腔室内进行精确的压力控制。自动抽样系统提供快速可靠的抽样评估和过程监测。该单元可以同时分析不同气体的蚀刻速率和选择性，采用晶圆上气体采样。自动采样工具的光学机器使用数码摄像机，对样品进行准确的评估。APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE还装有State-the-Art Control计算机，这是一台具有图形用户界面的高性能个人计算机。这样就可以将最佳的数据记录和控制功能应用于快速过程反馈。该资产还便于使用简单的配方,并与基于Windows的操作模型配合使用。AMAT专为最大吞吐量和产量而设计，灵活使用各种化学品。这个腔室也是高度可靠的，需要最低限度的维护。该室配有多种配件，如气柜、配方容器、排气净化器、关闭阀等。所有这些特性使得双室生产商SE是半导体制造工艺的理想选择。