二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665727 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE是一种高性能的半导体蚀刻反应器，旨在提供对蚀刻工艺条件的精确控制，与传统的单室蚀刻工具相比，具有显着的均匀性和较低的缺陷率。该设备由两个独立的真空室组成，每个真空室都有自己的电子回旋共振等离子体源。这允许在每个真空室中对两个独立的基板进行精确的同时蚀刻处理。每个腔室中的两个独立的ECR等离子体源具有易于访问和易于维护的特点。每个等离子体源都能够精确控制等离子体功率、频率、射频偏差和气体分布，从而提高工艺产量。此外,先进的多点闭环样品自动化系统使该工具能够在蚀刻运行过程中自动调整过程条件,并对蚀刻过程进行即时优化。这些腔室被安置在一个包含晶圆传输单元、管道和射频（射频）屏蔽屏蔽的机器人工具运输框架中。这使得两个基板在两个腔室之间的快速和容易转移，污染最小。框架还允许更有效的维护，因为它不需要手动进入房间。机器的核心是它的软件控制界面,它提供了一个直观的图形用户界面,便于工具设置和过程控制,以及强大的功能,如自动过程优化和监视、故障诊断、用户安全、警报、数据记录以及FDA GxP符合21 CFR第11部分。这样可以轻松准确地操作具有高度可重复蚀刻结果的资产。AMAT Twin chamber for Producer SE是一种功能强大的蚀刻工具,使工程师和科学家能够获得高质量的精密蚀刻结果,同时减少工艺时间和成本。凭借其先进的功能、在可靠性方面的良好声誉和卓越的性能,它为蚀刻应用程序提供了一个极具成本效益的解决方桉。