二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE #293665728 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Twin chamber for Producer SE is a specialized reaction chamber designed to provided high-performance processing of wafer subst该设备有几种配置，以满足不同生产工艺的需要。双室具有两个高真空反应室：一个用于沉积氧化硅、多晶硅、氮化物或其他化合物的下室，以及一个用于蚀刻和其他操作的上室。下腔内装有多种来源，为处理均匀性而进行温度控制。它有一个加热的基板在加工过程中保持晶圆温度，以及两个单独的压板系统均匀的膜沉积。该室还设有高压气体输送系统和自动气体管理单元。上腔设计用于处理深硅蚀刻和各种LPCVD工艺等操作。它配备了全选的陶瓷衬里线性射频源，以及多种陶瓷和石英阳极板进行深度蚀刻。腔室还包括一台高压机器，用于输送不同的气体进行蚀刻。两个分庭的设计旨在共同努力，提供高性能的处理。下腔提供均匀的材料沉积，而上腔则根据需要蚀刻和沉积各种其他材料。该工具还配备了高温加热元件，可改善高温过程中晶圆的均匀性，如钛沉积。资产还包括一个自动晶圆处理模型，用于在两个腔室之间传输晶圆。该设备旨在提供快速、高效的晶圆处理。该系统还设计为与Process Control软件和主机计算机集成，允许实时监控和控制过程参数。AMAT Twin chamber for Producer SE的设计旨在为一系列应用提供高性能晶圆处理。两个独立的腔室和一个自动晶圆处理单元的组合使机器能够以减少的周期时间提供质量结果。这使得它成为那些希望改进其生产过程的人的理想解决方桉。