二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63 #9186153 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTS Ultima AZX-63是一种先进的等离子体蚀刻反应器,旨在为当今最苛刻的等离子体蚀刻工艺提供卓越的电气和化学控制。AMAT Ultima AZX-63建立在可靠和行之有效的平台上,具有强大的功能,适用于要求最苛刻的蚀刻作业。其多频、脉冲电源为单层或多层蚀刻提供了最大的灵活性和无与伦比的性能。APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63专有的直驱机电平台提供了明显更高的系统和动力学分辨率，显着减少了粒子引起的缺陷。这将转化为产品产量和输出驱动器的显着改进,以实现最高级别的过程效率。此外，该系统还包括一个大气压力等离子体发生器，该发生器能够在反应性和非反应性过程气体中工作，如氙气和氮气。这确保了蚀刻过程中更大的均匀性和可重复性。Ultima AZX-63装有商标Cyclonus™机械泵.这款美观设计的泵是行业中效率最高的，噪音和振动极低。坚固的转子技术和密封的电动机腔室相结合，可以防止来自环境的任何干扰。其独特的设计还能实现高水平的压缩和真空控制，允许极精确的蚀刻结果与低缺陷。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima AZX-63还具有集成的寿命监控选项,如寿命传感器、自动基板对准器和等离子体Discriminator™。所有这些都使得获得最高的工艺产量和快速建立新的基材工艺基线变得容易。为了确保实验室的最高质量和安全，AMAT Ultima AZX-63配备了先进的安全包。这包括带有警告信标、可调流量安全阀和远程燃烧器控制功能的报警系统。最后,APPLIED MATERIALTIES Ultima AZX-63通过自动关闭和错误诊断功能,努力实现易于维护和操作,以满足服务和维护需求。凭借先进的等离子体蚀刻能力和精密的安全特性，Ultima AZX-63是精确等离子体蚀刻需求的理想选择。其性能和可靠性旨在跟上要求最苛刻、精度最高的等离子体蚀刻应用。