二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima HDP #9315128 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP（高密度等离子体）反应堆是一种最先进的工艺工具，设计用于制造先进的微电子电路和器件。AMAT Ultima HDP反应堆是与Plasma-Therm合作开发的，可提供多种材料和设备的高通量生产，包括新型的finFET和双栅极结构。应用材料ULTIMA HDP反应堆将高密度等离子体（HDP）源与多级级联等离子体放电室结合在一起，该室被石英室体包围，并由冷壁干法真空设备排空。这种技术组合允许对最难加工的材料和设备进行高通量处理。Ultima HDP反应广泛的气体，包括Ar、H2、N2、O2和H2O。气体种类繁多，加上阳极电偏置，可以精确控制化学和物理加工参数，从而能够加工各种材料，包括Si、SiGe、SiC和GaAs。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima HDP反应堆配备了一套全面的诊断和实时监控系统，可用于全程监控过程条件。实时监测单元包括气体采样、粒子计数、压力监测、温度监测、电流量和偏差监测。这台实时监控机使用户能够调整和优化过程参数，以提高过程的可重复性和性能。掺入的气体剂量工具还可以改进对工艺化学的控制，并提高气体利用效率。AMAT Ultima HDP反应堆凭借其智能安全系统还提供了增强的安全功能。这些功能包括气体泄漏时自动关闭、压力或温度突然变化或电涌。资产还会在发生紧急情况时提醒操作员，使他们能够采取必要步骤，确保流程安全。综上所述，APPLIED MATERIALS Ultima HDP反应堆是一种最先进的工艺工具，能够制造先进的微电子电路和器件。其高密度等离子体源与级联等离子体放电室的结合，加上与Plasma-Therm的合作，使得Ultima HDP成为同级中最先进的加工工具。其全面的诊断和实时监控模型使流程参数的精确控制和改进的流程可重复性成为可能。它还提供增强的安全功能，以确保紧急情况下的过程安全。