二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima Plus #9256871 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Plus是一种下一代化学气相沉积（CVD）反应堆设备，设计用于先进的材料处理应用。这种用途广泛的导体系统使金属、半导体、氧化物、氮化物和磁/铁电膜等多种材料的批量处理成为可能。它是公司Ultima®工具的增强版本。该导体的设计采用高效材料加热、均匀等离子体性能、工艺控制创新的一体化组合。石英反应堆包括两个边缘屏蔽等离子体源，一个由射频发电机供电的双敏感器和一个加热的升力销。升力销设计用于将加热的晶片从磁感器均匀转移到反应器中的气箱。AMAT Ultima Plus的电机控制器允许用户精细调整磁感器和气箱之间的距离，以调整处理空间。它还使用户能够准确控制整个晶片的温度以及晶片在等离子体反应堆中心的位置。该反应堆具有低压和多区能力，工艺温度范围从室温到600°C。它还为GaN、金刚石和碳纳米管等材料提供低压加工，并且可以在高压加工不合适的情况下加工各种材料。APPLICED MATERIALTS Ultima Plus标配原位椭圆偏振法、拉曼光谱法、反射法等诊断过程。此外,它还具有多管负载锁、不锈钢波纹管、四磁控管偏置等离子体源、强大的脉冲调制等离子体源、自动操作控制器和真空单元。这台机器的设计是为了优化吞吐量，同时尽量减少污染的可能性。Ultima Plus使用户能够通过客户定义的参数（如时间、压力、射频功率和温度）快速准确地控制其流程,以精确地拨入最佳方桉。反应堆中包括的先进安全系统保证安全运行，并保护工艺环境不受任何类型的污染。