二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293600876 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima X反应堆是一种高性能、大容量的半导体加工设备，设计用于OLED、TFT和FinFET器件制造的广泛应用。利用AMAT专有技术,AMAT Ultima X在极端温度和高压下运行,以实现生产领先半导体器件的高效制造过程。利用应用材料Ultima X反应堆独特的保温特性和高容量处理能力,用户能够优化设备制造过程,而不会对产量和生产率造成不利影响。UltimaX反应堆利用封闭的反应堆室进行快速热处理，减少冷却干扰和过程污染。腔室最大限度地提高了温度均匀性，在整个腔室中提供了完整的压缩或高温过程。它还提供了与外部环境的隔离，这有助于最大限度地减少压力损失和减少工艺变化。该产品采用整体式加工室设计，减少污染物堆积，同时保持精确的温度均匀性，并采用喷枪组件涂覆均匀的涂层。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X系统还具有全自动的材料管理和传输模块。这一特点使物料处理效率更高，提高了生产物料的质量。此外，设备的物料处理机符合最严格的安全标准，从而提高了操作员的安全性。AMAT Ultima X还包括一个可选的集成统一供应源，实际上简化了供应链，缩小了晶圆制造过程中所需的材料管理范围。最后,APPLICED MATERIALTIES Ultima X反应堆具有出色的晶圆处理能力,具有坚固的晶圆处理工具,每个循环操作的晶圆尺寸高达600mm,并采用低调设计,可最大程度地减少阻塞。其集成的真空提升子系统有助于自动化处理过程，从而使每个组件更有效地进出反应堆腔室。这使得半导体加工周期的吞吐量更高，产量更高。此外，资产利用几种先进的监测技术和工具来确保晶圆温度和吞吐量的最佳控制。
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