二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #293754394 待售

AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X反应器是一种用于沉积薄膜的最先进的工具，对沉积的均匀性有前所未有的控制。利用超高真空技术、电子回旋共振等离子体源和先进的工艺控制，提高了沉积薄膜的性能和厚度均匀性，具有较高的通量和最大的工艺可靠性。AMAT Ultima X反应堆提供全自动的过程排序和闭环过程控制，具有可调压力控制、双区晶圆旋转和先进的过程计量。这确保了实现最理想的工作条件，从而实现了一致和可重复的结果。ECR等离子体源提供均匀、高能量的氧等离子体，并有一个宽广的过程窗口，允许广泛的沉积过程，包括蚀刻、氧化、沉积、退火和薄膜钝化。应用材料ULTIMA X反应器还具有可交换的线性运动级，允许快速和可靠的晶圆负载。它还具有用于加工室之间有效晶圆转移的转移室，提供了高度的过程灵活性。Ultima X反应堆还能够并行运行多个进程，提供较大的吞吐量和高水平的处理灵活性。该系统在一个腔室中最多可容纳八个进程，可配置多个晶圆大小。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X反应器提供低温沉积和高温处理，允许超低沉积温度而不牺牲工艺性能。这样就能在高沉积速率下实现可靠和一致的沉积。AMAT Ultima X反应堆是一种尖端工具，提供最高级别的过程控制、可重复性和均匀性，同时提供高水平的吞吐量和灵活性。它是在薄膜沉积过程中获得最可靠、最可复制结果的重要工具。