二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima X #9255628 待售

AMAT/APPLIED MATerials Ultima X是一种用于复杂半导体器件制造的超高密度等离子体蚀刻技术。它是一个感应耦合等离子体（ICP）反应器，这意味着它利用电磁场来创建由能在薄膜蚀刻中使用的高能离子和自由基组成的等离子体。纳米电子器件等薄膜层的蚀刻对于加快纳米设备和其他半导体产品的制造过程至关重要。AMAT Ultima X用途广泛,因为它适用于所有蚀刻化学和材料。反应堆独特的结构由三个同心圆柱体组成，使反应性物种和化学前体快速移动，消除了热能沉积的发生。这大大提高了整个基板上的蚀刻均匀性。APPLICED MATERIALTIES Ultima X也使用具有低压操作的高密度光源，结合创造了非常高效的蚀刻工艺。这是通过利用负离子和电子同时有效电离等离子体种类的双驱动电源来实现的。这种高密度的等离子体设备提供优于其他工艺的蚀刻各向异性，显着减少蚀刻侧壁损耗并实现更高分辨率的特征。Ultima X还采用了获得专利的气体输送技术，该技术改进了蚀刻工艺，同时减轻了反应性物种的污染。这项技术使用先进的计算机软件算法来精确控制蚀刻前体和底物之间的压力，确保等离子体物种以理想的数量和最小的散射到达底物。AMAT/APPLIED MATERIALT Ultima X还利用先进的光学基板检验（OSI）系统来确保最终产品的质量。该单元采用可见光和红外光光谱检测硅污染物、栅极氧化物厚度、栅极氧化物损伤和栅极氧化物故障。此外，AMAT Ultima X OSI机能够同时测量蚀刻图样的临界尺寸，以保证高收益率。总体而言，APPLIED MATERIALTIES Ultima X是一种功能丰富的蚀刻反应堆，功能先进。其高密度等离子体源、低压操作和动态气体输送与高效的最终产品检测相结合，确保了最佳的蚀刻性能和精度。Ultima X被广泛应用，例如开发精密的纳米电子器件，是一种高度可靠的蚀刻工具。