二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #293758482 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima是一种高性能的外延反应器，设计用于制造光电和功率器件。AMAT Ultima能够执行多种过程，包括电介质、多晶硅和III-V化合物的沉积，以及光学修剪蚀刻、氧化物蚀刻、金属升空和光敏带。应用材料Ultima反应堆使用感应耦合等离子体（ICP）源，它允许更有效的电离和改善对底物温度的控制。这样就能够精确控制反应参数，允许制造复杂的微观和纳米结构装置。Ultima还配备了多种先进的诊断工具，如用于电弧检测、等离子体成像、氧荧光监测的探针。AMAT/APPLIED MATERIALTS Ultima反应堆还具有先进的晶圆处理系统。该系统能够处理直径不超过12英寸的晶片,并且可以同时处理多个晶片,以用于需要更大处理批次的应用。AMAT Ultima利用独特模式的"供体"晶片将沉积的材料转移到目标晶片上。然后将图样化的供体晶片替换为新鲜晶片，以防止交叉污染。应用材料Ultima反应堆在其工艺选项上也是通用的。它能够执行多种标准过程，如薄膜沉积、热氧化、III-V材料沉积、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、溅射和金属溅射。此外,Ultima还可用于制造多种设备结构,包括异质结构、多层堆栈和超晶格。AMAT/APPLICED MATERIALTA Ultima反应堆的设计也是为操作员提供安全高效的工作环境。该反应堆经过认证，可满足若干安全和环境要求，包括ATEX指令、TÜV标记、Rohs指令和其他适用法规。因此,操作员在使用AMAT Ultima时可以确保操作安全可靠。