二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9116892 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima Reactor是一种高精度、高效率的工艺工具，设计用于制造基于先进、低温、薄膜晶体管（TFT）的平板显示应用。它是AMAT Ultima系列工艺工具的旗舰车型。应用材料Ultima反应器设计用于薄膜沉积和蚀刻过程.它具有标准的单室系统，允许同时向基板供应多种气体。Ultima反应堆的设计包括获得专利的射频等离子体产生系统、用于精确基板夹紧的静电卡盘、自动反馈系统和集成温度控制器。基板保持在卡盘表面，与反应堆腔内的等离子体直接反应。AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor能够沉积或蚀刻薄至5纳米的薄膜，可以达到5 nm或更高的均匀性。它还能够在室温（20-200⁰C）下沉积和蚀刻硅酸铝和金属氧化物薄膜。反应堆还可以在各种压力下处理各种气体和液体化学物质，以及在高密度等离子体下沉积材料。此外，反应堆有模块化设计，允许它被定制到一个特定的过程。AMAT Ultima反应堆易于使用，生产效率高。它为各种薄膜的沉积和蚀刻提供了可靠和可重复的方法，包括多晶硅、氟化无定形硅、金属氧化物和铝硅酸盐膜。反应堆还与各种基材兼容，如玻璃、聚酰亚胺、石英。最后,APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor提供了长寿命的可靠工艺性能.