二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9163587 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima反应堆是一种高性能物理气相沉积（PVD）设备，设计用于超高密度的薄膜沉积应用和大面积部件的生产。该反应堆适用于大规模生产用于光伏、电信、LED、显示器等基础设施应用的组件。AMAT Ultima反应器针对薄膜厚度下的薄膜平整度和总反射率均匀性进行了优化。这使得它成为需要高度均匀的陶瓷、金属和复合材料层的应用的理想选择。反应堆由一个超精密的薄膜控制系统、一个处理室组成，它本质上像一个真空圆顶、一个能够达到极端温度的底部加热器组件以及一个顶置的环形源溅射模块。反应堆还包括一个旋转式多主轴负载锁，可以方便地进行底物的装卸，同时保持腔室在真空条件下。其自动芯片加载单元和机器人处理机也允许处理大型晶片。应用材料Ultima反应堆的最大制造速率为每小时30um厚度，溅射沉积速率高达180分钟。该工具还与先进的过程监控技术集成在一起，使操作员能够充分控制他们的过程参数，同时确保优越的产品质量。Ultima反应堆的高效设计，使得大面积元件的生产具有精确度和均匀性。它的高级流程控制系统允许流程工程师根据需要监视、跟踪和调整参数,从而实现优化流程和最大吞吐量。资产先进的真空和高效的气流系统促进了稳定、清洁的环境，生产出均匀的材料层。AMAT/APPLIED MATERIALS Ultima反应堆是用于光伏、电信、LED、显示器和许多其他应用的高批量生产精密层材料的理想工具。AMAT Ultima反应堆以其优化的制造速率、先进的工艺监控能力和均匀的层级生产，是大型薄膜沉积作业的理想选择。