二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9190317 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反应堆是一种先进的半导体器件等离子体蚀刻系统。该系统专为高性能、低成本的加工而设计,能够对各种材料和高宽高比结构进行精密蚀刻。AMAT Ultima反应堆由负载锁定室、电子回旋共振（ECR）源和感应耦合等离子体（ICP）源组成。载荷锁室可以在蚀刻前引入晶片和预先清洗晶片。ECR源产生强大的高频电磁场，产生高能电子。这些电子与等离子体相互作用，产生高度均匀和电离的等离子体。然后，ICP源向等离子体提供额外的能量，并添加倒角气体和反应物气体。应用材料ULTIMA反应堆通过先进的过程控制算法提供过程重复性，并进行了优化以减少气相和颗粒相沉积。它还会产生极短的边,非常适合高纵横比结构。此外，它具有广泛的工艺能力，包括干蚀刻、物理气相沉积（PVD）、低温多晶硅（LTPS）、液晶显示（LCD）工艺。Ultima反应堆采用可定制配方优化性能。它速度惊人，吞吐率高，蚀刻率高，沉积选择性好。它的过程灵活性使其适合各种过程配置,包括单晶圆、群集工具和具有同步过程的多蚀刻器。它还具有易于使用的配方编辑工具,使用户能够修改流程参数以适合特定的应用程序。AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反应器是一种高度先进的等离子体蚀刻沉积系统，具有精确的蚀刻沉积能力，具有高度可重复的过程控制，适用于广泛的半导体过程。AMAT Ultima反应堆高效、灵活、技术先进，是制造高复杂微电子的理想选择。