二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9298247 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima reactor是用于半导体制造过程中硅基基板介电蚀刻的下一代工具。AMAT Ultima是一种强大的、高通量的等离子体蚀刻反应器，可以处理大型晶片，有效蚀刻材料而无需额外的化学品。APPLICED MATERIALTIES Ultima反应堆的先进技术为亚微米和超大规模集成（ULSI）工艺中的蚀刻提供了更高的蚀刻一致性、更高的吞吐量和出色的工艺控制。Ultima反应堆基于三重独立基座平台，支撑三个不同的工作站，每个工作站都有自己的工艺室。机载计算机系统用于控制过程参数，监控温度、压力、大气参数等环境条件。其先进的功能包括坚固的真空系统、多种等离子体源以及气体处理能力。AMAT/APPLIED MATERIALS ULTIMA的等离子体源能够在高达4500°C的温度下产生等离子体，其超低功率技术具有保持高蚀刻速率的能力，离子轰击最小，选择性高。这样可以确保更高的产量和高质量的结果。AMAT Ultima反应堆还能够利用其板载ECR和感应耦合等离子体源进行掩蔽和塑料沉积，以及对氧化物层下的子层进行控制氧化。机载计算机系统集成了多种复杂的功能，如实时过程监控、自动配方加载和参数调整，以及先进的故障诊断和诊断软件。它还提供数据记录和分析,使用户能够访问即时结果并节省宝贵的时间。APPLICED MATERIALTIES Ultima可以处理多种选择性和均匀性极佳的材料，使其成为硅基基板介电蚀刻的理想选择。再者，Ultima反应堆性价比高，能效高，低功耗12.52千瓦，适合全天候生产。它还通过其原位等离子体源清洁能力确保了环境安全操作，从而消除了对危险化学品的需求。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反应堆是用于半导体工业中硅基基板介电蚀刻的先进、高能力的工具。它为亚微米和超大型集成技术提供了出色的一致性、高吞吐量和过程控制,使其成为工业应用的理想选择。