二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314609 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima Reactor是一种用途广泛、占地面积小、双源等离子体蚀刻设备,其设计目的是在广泛的应用中实现高通量、高生产率的蚀刻。AMAT Ultima反应堆利用先进的残留气体分析（ARGA）技术，为蚀刻提供了一个干净的环境，并提供了对工艺参数的精确控制，以实现可重复的结果。启动时,应用材料ULTIMA的每个工艺室都经过预处理,以优化后续蚀刻配方。此过程可确保高质量的结果、可重复性和生产率。Ultima灵活的架构允许它配置有多个源、发电机类型、高频电源和线性流配置。AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima还具有两个负载锁定系统,旨在实现快速的负载周转时间,以便高效地装载和卸载基板。负载锁具有针对高纯度环境的气体洗涤功能,以及一系列自动化过程,可最大限度地减少用户干预,从而实现更好、更快的蚀刻。AMAT Ultima具有高级控制系统,旨在简化流程。该控制单元提供了软件和图形丰富的基于GUI的界面,使用户能够灵活易用地操作计算机。该软件支持各种语言，使其成为最方便用户使用的界面之一。APPLICED MATERIALS ULTIMA具有高性能静电卡盘（ESC） technoloy,在蚀刻过程中提供卓越的均匀基板覆盖。其高精度的再循环阀工具确保整个腔室内的气体排出均匀，实质上保持均匀的压力和等离子体浓度，以确保最佳的蚀刻性能。Ultima还具有气体喷射系统，以便在蚀刻过程中更好地控制气体溷合物。这使工程师能够根据自己的特定需求定制配方,通过优化气体使用率和蚀刻率进一步降低成本。最后，AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima是一种高度通用、最先进的双源等离子体蚀刻资产。其先进的功能和精确的控制功能提供了干净高效的蚀刻环境,使客户能够快速实现满足复杂蚀刻要求所需的精确度。AMAT Ultima是一种以具有竞争力的价格实现高精度蚀刻的高度可靠和经济高效的方法。