二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9314618 待售

AMAT/APPLIED MATerials Ultima是一种精密的原子层沉积（ALD）反应器，专门为材料薄层沉积在各种基板上而设计。AMAT Ultima是一种可用于原位评估的研发工具，可用于将材料的微薄层可靠地沉积到晶圆、纳米颗粒和粉末等基材上。应用材料Ultima已针对各种薄膜应用进行了优化,这些应用包括：电介质、氧化物、氮化物、金属和新型设备的材料。Ultima ALD反应器通过自限表面控制化学原理运行，这是基于前体分子的连续单层吸附到加工过的底物上。这种独特的反应器采用高度可控的真空室、精确输送前体的高精度质量流控制器（MFC）、用于原位过程监测的石英晶体微平衡（QCM）、用于多层和图样处理的先进旋转基板支架以及用于快速样品导入的快速载荷冷冻纸的组合。AMAT/APPLIED MATERIALTS Ultima能够提供对反应参数如工艺压力、气体流速、温度、反应时间和沉积循环数的精确控制。反应堆的高级控制能力使用户能够实现对沉积过程的精确控制，并能够对不同的原位沉积过程进行评估。此外，它的自动反应循环确保了可靠、可重复的结果，确保了系统的方便和高效使用。AMAT Ultima采用的ALD工艺具有很高的原子精确度.这种精确度允许在大面积上以及在一系列有图样的基板上沉积均匀的层。APPLIED MATERIALS ULTIMA沉积的层本质上也极为薄且保形，使得複杂的三维结构得以以高度的重复性和精确度创造。Ultima是在研究和制造环境中用于薄膜沉积的一种极为通用且有价值的工具。它能够在广泛的应用中准确可靠地沉积高度保形的薄膜,这使其成为那些在ALD过程中寻求精度、控制和准确性的人的理想选择。