二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9315107 待售

AMAT/APPLIED MATerials Ultima是一种高度先进的反应性离子蚀刻（RIE）工具，设计用于半导体级蚀刻和材料加工。它用于集成电路的制造和开发，以及其他先进技术和材料加工领域。AMAT Ultima是建立在一个高精度的大面积真空封闭室。在腔室内部，许多不同的微加工过程发生在安全、清洁和密封的环境中。使用这种工具可以做的许多过程有化学气相沉积（CVD）、化学机械平面化（CMP）、深蚀刻、台面蚀刻、介电蚀刻和钨化学机械抛光（CMP）。根据正在制造的产品类型，室内的环境是根据基板的特定材料特性定制设计的。应用材料Ultima对于传统的RIE系统有几个优点。凭借其卓越的精度和速度，Ultima可以用来蚀刻比传统RIE系统更复杂的特性。其腔室更精确，产生更均匀的材料。它可以处理的温度范围也更大，允许使用更具攻击性的工艺，如干蚀刻。AMAT/APPLIED MATERIALTIES Ultima还采用了几种先进的安全和监控系统。操作人员可以从室外监视设备，从而对蚀刻过程进行更大程度的控制和监督。几个传感器并入腔室，监测腔室压力、基板温度、蚀刻速率、工艺气体成分等工艺参数。AMAT Ultima是一款功能强大、灵活可靠的反应性离子蚀刻工具，能够在现代半导体、MEMS和医疗设备应用中产生非凡的效果。其广泛的蚀刻类型和加工各种材料的能力使其与其他蚀刻工具不同。随着对更小、更快、更复杂的设计需求的增加,APPLIED MATERIALTIMA Ultima可以降低成本和时间,同时仍能产生出色的效果。