二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Ultima #9351211 待售

AMAT/APPLIED MATERIALTES Ultima反应堆是一种最先进的真空沉积设备，设计用于半导体和其他半导体相关基板。与传统技术相比,该系统可提供卓越的吞吐量、均匀性和可靠性。适用于多种应用，如光刻、蚀刻、薄膜生长等。反应堆是一个精密的单腔单元，具有独特的晶片源设计，具有高度可重复的水平几何形状，在整个批次的基板上均匀。该机器还有一个三束光监测工具，允许微波能量测量，可能允许最后一英里功率故障检测。AMAT Ultima反应堆能够使用标准溅射源进行物理气相沉积（PVD）。还可以进行反应性溅射、蒸发、离子镀层和化学气相沉积（CVD）等交替真空过程，从而实现更大的通用性。该资产具有高级流程监控功能,以及一整套数据分析和报告功能。各种原位光谱诊断都有，包括光发射光谱、俄歇电子光谱、X射线光电子光谱、电子能量损失光谱。这使得沉积过程中的过程控制达到前所未有的水平。反应堆还提供先进的过程自动化功能，从而实现更高效的多运行操作。它包括用于快速过程设置和优化的自动化过程优化功能,以及用于原位晶圆表征的内置计量工具。它的高速运动和晶圆处理系统允许快速、可重复的过程。最终，APPLIED MATERIALS Ultima反应堆为用户提供了一个可靠、可重复的工艺环境，旨在帮助芯片制造设施降低生产成本并最大化产量。其集成的过程能力、先进的过程诊断和自动化使用户能够实现卓越的吞吐量、统一性和可靠性。它还提供了一系列适合现代半导体应用需求的功能。