二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Wafer orienter chamber for P5000 #9269013 待售

ID: 9269013
晶圆大小: 8"
8" Wafer chuck, 8" Wafer lift, 8" Chamber lid Part number / Description 0010-70247 / Laser optics, Assy 0010-20339 / Orienter rotation motor, Assy 0100-20068 / PCB, CCD 0090-76058 / Wafer orienter, PCB.
AMAT P5000 Wafer Orienter Chamber是一种创新的反应堆,它能够以更高的精度和控制来提高先进材料的产量。该P5000设计用于多种工艺类型,包括沉积、蚀刻和清洗多种晶圆基板。这台机器利用了最新一代的硬件,拥有自动化的过程控制器,升级的安全系统,高精度的对准,以及增强的真空能力。该P5000晶圆Orienter室提供了一个独特的大产能。这样可以生产直径最大为12英寸的晶片,最多可同时处理五种基材。每个晶片都有定位,使用先进的数字光学子系统可以精确地确定和调整晶片的确切位置。这确保了晶片在生产过程中的精确和可重复对齐,这对于生产更高产量的材料是必不可少的。晶圆取心可以配置为能够沉积各种先进材料,如氧化物、氮化物、薄膜和其他高性能材料。该反应器采用高灵敏度石英晶体监测器和质量流控制器,能够精确控制整个沉积过程。这使操作员能够精确管理输送气体的分布和温度,从而实现材料的精确沉积和整个晶圆的均匀性。该P5000还通过监测气体和真空压力、反应堆内部的氧气水平以及室内温度范围等安全参数,提供了无与伦比的安全系统。它还配备了用于额外保护的外部硬件,如惰性气体锁定,防止加工气体进入加工室或其他区域。P5000 Wafer Orienter Chamber将最新的硬件技术与成熟的材料生产技术相结合,提供最大的便利和控制。对于那些需要高效、精确地加工大小批次材料的人来说,这是一个完美的选择。
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