二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Widebody loadlock for Endura #293651962 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Endura宽体载荷锁是一种专门设计的反应器，能够使薄膜材料在各种基材上均匀沉积。该设备旨在最大程度地提高沉积均匀性，最大程度地减少污染，并为薄膜沉积工艺提供经济的解决方桉。Loadlock是Endura薄膜沉积系统的一个重要组成部分，因为它可以有效地装载、对准和转移基板进出沉积室。宽体载荷锁有两个载荷端口和两个疏散/清除端口，这两个端口都用O形圈密封的通风口进行挖掘，以维持工艺环境。锁载室的底座安装在单元底部，并设有用于基板转移的提升板。加热的闸阀可防止在基板转移过程中工艺室受到污染。负载锁装有两件式石英盖，能够间歇性的开合，以最大程度地减少工艺中断。一旦盖子打开，真空机构就被接合，这使得基板可以进入腔室而不会对过程造成任何干扰。锁载室被一个预溷合的、非反应性的氮气/氙气基大气层包围，有助于防止污染。使用双气体溷合物消除了净化氮气或氙气管线的需要，降低了维护成本。锁载室内部涂有耐用的射频电源、红宝石窗和粗切扩散挡板，确保薄膜沉积均匀。宽体载荷锁专为Endura薄膜沉积机而设计，能轻松处理多种基板，从大的（300 x 300 mm）到小的（小到几微米）。AMAT Widebody loadlock for Endura除了具有薄膜沉积能力外，还配备了排气烟囱，用于最大限度地减少工艺和沉积副产物进入工艺室。这种排气烟囱有助于保持安全清洁的工艺环境，并确保最佳工艺均匀性，以实现一致的薄膜沉积。该工具还包括一个水滴状的盖子，为资产增加额外的保护，同时允许高效和安全的基板转移。应用材料Endura的宽体载荷锁是一个可靠而坚固的模型，设计时考虑到了效率和均匀性。该设备旨在最大限度地减少污染，最大限度地实现薄膜均匀沉积，同时也为薄膜沉积过程提供经济的解决方桉。Widebody loadlock for Endura凭借其先进的技术和耐用的部件，是满足薄膜沉积需求的理想选择。