二手 AMAT Centura High-K #293616807 待售

AMAT Centura High-K是专门为300 mm晶圆制造而设计的反应堆设备。它是一种可以将蚀刻气体送至的反应室，以便在植入后执行清洁步骤。该系统的设计目的是通过提供高速流动来最小化颗粒物，这些高速流动可以在颗粒沉降在晶圆表面之前迅速清除颗粒。Centura High-K的显着特点包括双区域、平行流动的废水注入单元、声学聚焦、化学减排、热管理和过程控制程序以及高效的热回收系统。双区机允许反应气体以高精度和速度注入反应室内。这减少了完成该过程所需的时间和可以污染晶片的颗粒数量。声学聚焦是AMAT Centura High-K的另一个重要特点。这项技术利用声波创造出一个极聚焦蚀刻气体的通道，在离开反应室后迅速消散。这具有显着减少污染机会的优点，因为反应室外的气体很少。Centura High-K还提供化学减排选项,以确保符合高级清洁室法规。这个工具使用了一系列过滤器和吸收器来捕获和清洁来自反应室的危险化学物质排放。此外，它还具有热管理和控制功能，可对可重复结果进行精确的温度控制。最后,AMAT Centura High-K配备了高效的热回收系统,可从该过程中回收能源并利用它来降低总运营成本。这有助于提高设备性能并减少对环境的任何潜在影响。总体而言，Centura High-K是300 mm晶圆制造的优秀可靠反应堆资产。它提供了许多先进的功能,如声学聚焦、化学消减、热管理和控制功能,以及高效的热回收系统。所有这些特性结合在一起，提供了一个极好的工艺体验，并最大限度地减少晶片的污染。