二手 APPLIED MATERIALS Centura 5200 #111644 待售

APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种多室水平半导体反应堆，设计用于大批量生产先进微电子器件。它能够处理多达8英寸晶片的基材，具有各种先进的薄膜应用，包括浅沟隔离（STI）蚀刻、钝化、栅极氧化物沉积和化学气相沉积（CVD）。这是一个全自动设备，有一个大的加载端口，可以容纳多个晶圆，能够容纳各种卡带大小和可配置的处理模块。Centura 5200的加工室是一个不锈钢圆筒，允许系统在大气和低压操作中进行广泛的沉积、蚀刻和清洗过程。APPLIED MATERIALS Centura 5200中的真空单元能够达到高质量的真空，可以达到1E-8 torr的基本压力。它由一个机械泵和一个带有涡轮分子泵的可烘焙的后备扩散泵组成。这台机器被设计为与各种腐蚀性和反应性气体兼容。Centura 5200利用可编程逻辑控制器（PLC）来控制反应堆并为操作员提供接口。该工具具有计算机控制的监视和控制资产,可实现精确的实时过程控制。APPLIED MATERIALS Centura 5200还具有隔离的洁净室环境,可最大程度地减少颗粒和污染。这样可以实现最高的制造公差和高级工艺控制,从而优化产量。Centura 5200配备了多个传感器和闭环控制系统，可以调节晶圆温度、工艺压力和流速，输出功率以确保最大晶圆质量。该模型除了监测和控制腔室周围的紫外线和臭氧水平外，还包括一个冷却设备，以确保室内的温度得到适当维护。总之，APPLIED MATERIALS Centura 5200是一种通用、高性能的半导体反应器系统，具有先进的薄膜应用和高速、高产量的生产能力。它利用隔离的清洁室环境、多个传感器和控制系统以及PLC控制单元来确保最大的晶圆质量。Centura 5200具有广泛的功能和先进的工艺控制,是寻求可靠、高效和经济高效的光刻解决方桉的制造商的理想解决方桉。