二手 APPLIED MATERIALS Centura DXZ #114651 待售

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ID: 114651
4 channel system, 8" Narrow body load locks Manual lid hoist HP Robot CH A, B, C, D –DxZ Silane Oxide Direct drive throttle valve AE RFG 2000-2V 10torr Baratron 100torr Baratron Gases (Unit MFCs): 300cc N2O 3SLM N2O 5SLM He 3SLM CF4 150cc SiH4 5SLM N2 Seriplex Gas Control CH E – Multi slot cool down Bottom feed exhaust Facilities bottom feed OTF Centerfind 1998 vintage As-is, where-is.
APPLIED MATERIALS Centura DXZ是一种高产量、低成本的半导体加工设备,主要设计用于深亚微米器件的制造。该系统采用先进的沉积技术,对高保真度和重复性的材料进行沉积、蚀刻和图桉层。这一过程由独特的高速前后拼贴技术驱动,可实现更快的沉积速率以及出色的均匀性和对特征形状的控制。这使制造商能够更快、更经济地创建半导体器件,同时保持严格的过程控制。作为反应堆装置,Centura DXZ的设计目的是将薄薄的材料层沉积在基板或"晶圆"上。该机器利用一个专有的工艺室,能够沉积低至0.1微米(100纳米)的单层或多层受控厚度。高速拼贴技术提供卓越的基板吞吐量和对特征形状的精确控制。该工具具有沉积多种材料的能力,包括金属、电介质和其他半导体材料,提供多用途。APPLIED MATERIALS Centura DXZ过程控制资产是模型的重要组成部分,为控制反应堆提供了强大的功能。这包括过压保护、精确的物料分配、精确的温度控制、精确的物料堆积监控等功能。这确保了更紧密的流程窗口,使操作员对其结果更有信心。Centura DXZ设备是制造深亚微米半导体器件的革命性反应堆。其专有的腔室和瓷砖技术使工程师能够快速沉积材料,具有出色的均匀性和可重复性,而其过程控制系统则提供严密的控制。APPLIED MATERIALS Centura DXZ单元具有低成本、高产量的设计,是需要精确和通用性能的制造商的理想选择。
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