二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #151071 待售

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ID: 151071
VHP robot assy.
APPLIED MATERIALS Endura 5500是为最苛刻的半导体工艺而设计的先进、先进的一代晶圆蚀刻反应器。该反应堆能够在积极的循环时间提供高质量、高产的工艺,从而提高半导体器件制造的有效性和效率。Endura 5500提供了许多特性和功能,可实现高效可靠的性能。反应堆具有多站能力,最多可有3个站。各站包括独立的气体注入、过程控制和纯度监测系统。这使用户能够根据自己的特定要求快速、准确地配置系统。反应堆还配备了先进的自动化软件包,其中包括全远程控制、预测警报和远程诊断。反应堆也被设计成高度可靠。它具有坚固的机械设计,包括热管理工艺室,可将温度保持在可接受的参数内,以实现长期设备性能。腔室由四个独立调节的加热器加热,允许精确的温度控制和更快的热斜坡时间。由于采用了超低交叉饱和度的先进气体喷射系统,最终产品一直是最优质的。APPLIED MATERIALS Endura 5500还具有集成的过程控制器,能够实时进行过程监控和验证。过程控制器可以指示严密的过程条件,并提醒工程师注意潜在的过程问题,同时提供过程的可重复性并降低产量损失的风险。该反应堆还拥有一个可配置的擦除-回收程序,可以减少材料的使用和成本。Endura 5500专为处理污染物而设计,具有先进、高效的排气气管,并具有后部扩散功能。这有助于在进入腔室前捕获颗粒,确保更清洁的过程,延长腔室寿命。反应堆的过程监视器通过可听和可视警报检测可能出现的过程中断,并向工程师发出警报,从而加快响应时间。反应堆有可互换的源模块,可以满足各种输入气体需求。它还具有易于维护的设计,具有可访问的钛合金衬里,可快速清洁,并易于拆卸和更换易受伤害的部件。总体而言,APPLIED MATERIALS Endura 5500为有效的半导体器件生产和加工提供了一个用户友好且高度可靠的平台。其先进的技术和功能保证产品质量最高,而其先进的自动化系统则有助于确保过程的可重复性和统一性。这就是为什么恩杜拉5500是半导体行业中备受追捧的蚀刻反应堆。
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