二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155131 待售
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已售出
ID: 155131
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Non-SMIF, 8"
Automation online Component: No
Load lock: Narrow Body
Transformer: Short Body
Robot Type: HP
Serial No: 3033
Chamber Configuration (Chamber Type)
Chamber A: By pass, Narrow Body
Chamber B: Cool down, Wide Body
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber E: N/A
Chamber F: Orienter/Degas
Chamber 1: Ti, Narrow Body
Chamber 2: Al, Wide Body (TiN)
Chamber 3: Al, Narrow Body
Chamber 4: Ti, Narrow Body (Al)
Chamber Configuration (Heater/Power Type)
Chamber C: N/A
Chamber D: N/A
Chamber 1: 101, 20KW
Chamber 2: 101, 10KW
Chamber 3: 101, 10KW
Chamber 4: 101, 20KW+10KW
MFC Type: STEC
1 Compressor:
Cryo He Line: 50ft
Neslab with resistivity
Hoist: No
RF Rack
Cable Length: 50ft
Pump Type: None
System Rack: STD
1994 vintage.
APPLIED MATERIALS Endura 5500是用于生产多种特种材料的最先进的高吞吐量设备。该反应堆系统是一个自动化平台，以更高的效率和生产率提供先进的材料合成和沉积解决方桉。对Endura 5500反应器进行了多批材料合成和沉积的优化，使一系列操作员能够在不同的参数上工作，从而提高了工艺的生产率和效率。它采用高性能直线电机,提供快速、精确的定位,使操作员能够轻松地执行高级功能。此外,APPLIED MATERIALS Endura 5500的驱动器设计用于可重复和准确的移动,从而实现可靠的过程同步。Endura 5500采用大真空室和尖端排气单元设计，用于快速排空腔室，提高了工艺的可重复性和准确性。它通过三维控制（3D-CoC）机器提供了增强的过程控制，在材料沉积过程中提供了无与伦比的精度和控制。此工具使用高级算法即时调整进料速率,为材料沉积难题提供独特而可靠的解决方桉。APPLIED MATERIALS Endura 5500还包括一个直观的用户界面，为用户提供可视化、分析和实时数据采集工具，在整个过程中优化过程可控性和操控。通过在图形和表格视图中显示流程信息,直观的用户界面为用户提供了更大的灵活性,并可以控制他们如何配置和监视流程。它还允许对过程的反应和进度进行最新跟踪，使操作员能够根据个别批次的性能修改条件和调整参数。Endura 5500的建造是为了使用广泛的材料，从金属到薄膜沉积材料。APPLIED MATERIALS Endura 5500通过增强的工艺控制、高功率直线电机和直观的用户界面,为材料沉积过程提供了前所未有的速度、精度和无重重复能力。
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