二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #155729 待售

APPLICED MATERIALS Endura 5500是一个革命性的生产反应堆，旨在通过创新的开放式设备方法，使先进材料，包括铜和铜合金的沉积具有成本效益。这种反应堆的设计目的是在高温和积极的工艺化学（如等离子体蚀刻、聚氯乙烯和聚氯乙烯工艺）下产生值得生产的结果。Endura 5500是一个先进的全晶片多区反应堆，具有温度控制高达500 °C的大型加热室，处理时间高达90分钟每批多达60个晶片。该反应堆的设计旨在优化过程均匀性，具有专有的矢量化和先进的均匀性控制，从而提高产量和产品质量。APPLIED MATERIALS Endura 5500集成了一系列沉积、蚀刻和溅射技术，包括Applied独特的直列式快速热处理（iRTP）和全球均匀性控制（GUC）技术。该系统具有广泛的自动化过程自动化和控制功能,可实现模块化端到端制造。Endura 5500具有线性和圆形处理室,能够提供各种晶圆均匀性产率和工艺均匀性。这个先进的反应堆一次可以处理多达3英寸的晶片，材料沉积速率高达2000埃/分钟或2400埃/分钟，这取决于其配置。应用材料Endura 5500利用专有的六极管磁性限制来保持过程气体的限制，减少它们与反应堆壁的反应。Endura 5500还配备了一个全面的流程监视单元,具有数据记录功能和一个进入所有流程参数的单一视图窗口,以及一台基于Web的远程支持机器,以方便设置和操作。此外,集成的Endura管理工具允许生产设施完全自动化。APPLIED MATERIALS Endura 5500为铜和铜合金沉积以及其他先进材料提供了无与伦比的精度和性能,因为它旨在最大限度地提高生产效率和成本效益。这种创新的反应堆提供了一种具有卓越工艺的高度可靠和生产性的加工解决方桉。