二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #194410 待售

APPLIED MATERIALS Endura 5500是一种反应室，用于沉积、蚀刻、清洁等过程。用于加工半导体、薄膜、陶瓷等材料。Endura 5500有一个特殊的工艺窗口，这意味着它令人印象深刻的等离子体温度和压力范围可用于各种应用。这使得它独特地适用于许多任务，如蚀刻、离子束铣削、溅射等过程。APPLIED MATERIALS Endura 5500是一种三室设备，意味着它的几个部件相互连接，但也可以独立操作。腔室是反应腔室（这是系统的主要部分）、锁载室（用来装卸样品）和热处理腔室（用来控制处理气体）。该单元为真空兼容（VC），能够承受1 x 10-6毫巴的底压。反应室还部署了复杂的多边形扫描，从而能够有效利用可用空间，同时优化梁线以提高均匀性。Endura 5500的高功率电源对于需要高脉冲功率或更高峰值电流的应用非常有效。它具有每英寸皮带长度不到1000W英寸的超低功耗,是市场上能效最高的系统之一。APPLIED MATERIALS Endura 5500配备10.4英寸触摸屏显示屏，为用户提供成熟的遥控器。通过其直观的图形用户界面，用户可以控制机器的所有过程变量。该工具结合了最新的安全功能,并配备了故障监控资产,可以检测任何错误并提醒操作员注意问题。Endura 5500具有许多功能,使其非常适合各种任务。它是FM（功能性材料）准备好了，并且有能力使用各种气源，例如氢气和氙气来清洁腔室表面。它还具有结合石英晶体沉积监测的能力，并提供各种形状和大小的血浆处理细胞，以实现完美的蚀刻或沉积。总之,APPLIED MATERIALS Endura 5500是半导体加工的优良模型.其先进的功能，包括多边形扫描和能效，使其成为一个强大而可靠的工具，用于诸如蚀刻和沉积等任务。各种安全特性和直观的用户界面使其成为工业应用的理想选择。