二手 APPLIED MATERIALS Endura 5500 #66676 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 66676
PVD systems, 8", sputter TNAA
Mainframe
2 Phase Cryo Pumps (0190-76014)
No RGA Valves
Hoists for Buff
Ch 1 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 2 Configure
Wide Body Chamber w/o Shutter Assembly
13” Source Assembly for WB(0010-20401): MDX-L12M
Magnet part# : 0010-20223 or 0010-20818(Uncharged Al 13” Magnet)
Source Gear Box : 7.5:1
2 Position Gate Valve
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of those
Heater : Standard 101 heater, No Backside Heater Gas lines
Pneumatic lift assembly for 101
Chamber Interconnect PCB(STD)
Ch 3 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch 4 Configure
Standard Body Chamber W/O Water Cooling Jacket
13” Source Assembly for STD(0010-20059)
2 Position Gate V/V
Pneumatic Lift Assembly for 101
Heater : Standard 101 Heater, No Backside Heater Gas Lines
Motorized Heater Assembly
Chamber Interconnect PCB(STD)
Baratron Gauge/Convectron Gauge/Ion Gauge and Cables of Those
Adapter Part# : 0040-22024
Ch C Configure
Chamber Interconnect PCB
RF Match box for 200 mm
RF Resonator
13.56 MHz Comdel Power Supply (CPS-1001S)
RFPP 400 KHz Power Supply (LF-10)
Turbo Pump/Adapter (Not Elbow Type)/Cable/Controller(NT150/360)
Ch A Configure : Passthrough
ExistWhole assembly
No Missing Parts
Ch B Configure : Cooldown
No Missing Parts
LLC A&B
Narrow Body Tilt out
CH E&F
Orient Degas Chamber
No TC Option
Degas Module Part# : 0010-20317
1995-1998 vintage.
APPLICED MATERIALS Endura 5500是一种先进的、基于等离子体的蚀刻反应器，旨在提供高质量的蚀刻性能和较低的维护成本。Endura 5500配备了最新的光机和工艺控制技术,能够以超低的运营成本提供高速吞吐量和可重复结果的精密蚀刻处理。APPLIED MATERIALS Endura 5500利用了多种先进的蚀刻工艺技术，包括高功率离子铣削、高密度反应性离子蚀刻（RIE）和溅射蚀刻。利用高功率离子铣削，可以精确地进行微加工和缺陷修复等蚀刻工艺，提供高质量、可重复的结果。对于深度蚀刻应用，Endura 5500具有高密度的RIE，使得蚀刻深度是传统RIE的四倍。对于极其精确的蚀刻要求，APPLIED MATERIALS Endura 5500包含了最先进的溅射蚀刻工艺，使结构小至0.25微米的精密蚀刻成为可能。Endura 5500还配备了一系列工艺自动化功能，旨在加快和简化蚀刻程序。通过使用集成的机械臂和一系列实时控制（RTC）功能实现过程控制和自动化,这些功能使用户能够完全控制蚀刻参数,以确保结果一致。此外，APPLIED MATERIALS Endura 5500还配备了集成的高级检测系统，能够对晶圆工艺进行可靠的测试和确认。为确保可靠性和优化长期工艺性能,Endura 5500还包括一个复杂的预测性维护系统,该系统在需要进行维护时监视蚀刻反应堆性能参数和报告,从而帮助将停机和维护成本降至最低。总体而言,APPLIED MATERIALS Endura 5500是高精度、高通量蚀刻加工的理想选择。Endura 5500具有先进的自动化功能、高质量的工艺结果和经济高效的维护解决方桉,是广泛应用的理想蚀刻反应堆。
还没有评论