二手 APPLIED MATERIALS P 5000 #129972 待售

APPLIED MATERIALS P 5000是一种最先进的等离子体增强型化学气相沉积（PECVD）反应器,可提高生产过程中的吞吐量、提高设备性能和卓越的可重复性,最终提高设备质量。该设备提供快速、可重复和精确的产品加工时间,并且可以轻松地从小基板尺寸扩展到大基板尺寸。APPLIED MATERIALS P5000设计用于研发和生产制造环境。系统的主要部件包括腔室、底架、电源和工艺控制器。在腔室内部，源和真空泵供应过程气体和除去副产物。电源可控制各种PECVD工艺参数,如工艺气体、射频功率和压力。过程控制器存储过程配方，负责沉积过程中所有不同参数的协调。P-5000室装有射频电极和卡盘，以便在沉积过程中固定基板。射频功率由电源控制，通过精确的温度控制单元维持卡盘温度。各种工艺气体可以单独供应，也可以作为溷合物供应，这是根据所沉积的半导体材料确定的。腔室内部的压力由涡轮分子泵控制，这有助于确保过程气体的精确浓度。一旦操作员输入沉积配方，过程控制器负责管理不同的参数，以确保沉积过程中的可重复性。不断监测和调整工艺气体的压力和流量，以确保最佳材料层的沉积。还对射频功率、卡盘温度、压力进行监控调整，确保装置均匀性。利用P5000，客户能够沉积先进材料如氮化硅、氧化硅、碳化硅等，具有卓越的可重复性。这台机器还提供了一个集成的蚀刻解决方桉，能够去除不需要的材料或阵列沉积的材料。APPLICED MATERIALS P-5000是先进半导体材料的理想选择，可用于生产各种电子器件。凭借其先进的功能、高吞吐量和可重复的结果,P 5000是寻求高端性能的工业和研究机构的宝贵工具。