二手 ASM Eagle 10 #293819964 待售
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ID: 293819964
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Plasma Chemical Vapor Deposition (CVD) system, 8"
2 channels
Process: TEOS
1996 vintage.
ASM Eagle 10是业界领先的高精度非接触粘合剂。专为微电子、光电、医疗器械组装等领域的厂商而设计。该粘合剂利用先进的有源热电偶传感技术提供了无与伦比的0.25 µm粘结放置精度。创新的闭环设备允许用户编程键合参数，以确保可重复性。它拥有令人印象深刻的0.5秒债券时间、高达20秒债券/秒,以及一个功能强大的用户友好软件平台来配置和管理流程。ASM EAGLE-10粘结头能够进行广泛的垂直和横向运动,X-Y轴上的范围可达470mm。该系统提供多达10个动力学轴,允许为任何应用程序定制。凭借其运动范围，Eagle 10几乎可以到达粘结区域的任何部分，而不考虑板的尺寸。它还有一个集成对齐的激光单元和一个可选的视觉机器，无穷无尽的精度和可重复性。EAGLE-10可以与ASM集成WC06晶圆更换器获得专利，以提高生产率和方便的基板转换。一种独特的非接触式拾取和放置工具，它通过吸力来控制基板，以确保在转移过程中零损伤。Eagle 10 bonding head配备了先进的力传感器技术,使资产能够响应真正的材料属性：粘结温度、表面光洁度、有机层等等。扭矩和伺服电动机的独特组合，以及高性能的闭环热和力控制，确保了精确和可重复的键合。最后，直观的用户界面简化了操作员体验，使调整参数和精确编程过程设置变得容易。ASM Eagle 10易于升级和维护,随着时间的推移保持其准确性和性能,维护成本较低。
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