二手 ASM EPSILON 3200 #9198737 待售
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ID: 9198737
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
(2) ASYST ISO Port
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Left hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
EBARA
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
Light tower - 4 Position
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Single touchscreen
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
EBARA
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200 (20slm Dilution MFC to be non-multiflow)
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2: GeH4 / 350sccm (1% GeH4 in H2)
AUX 3: CH6Si / 200sccm (20% CH6Si in H2)
AUX 4: SiH4 / 500sccm
AUX 5: Reserve position for future silcore loop
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Incoming check valves: 7
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for all flow loops except H2 main and 20slm dilution loop on dopant circuit
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM EPSILON 3200是一种核反应堆。它使用轻水反应堆（LWR）设备，使其适合于大规模的电力生产。反应堆的主要部件是反应堆堆芯、初级冷却剂系统和燃料棒。反应堆堆芯由几百根铀燃料棒组成的燃料组件组成。核心被设计成包含所有组件的不锈钢压力容器包围。核心被淹没在一池轻水中，作为初级冷却剂。这种冷却剂吸收核心发生的反应所产生的热量，然后将其转移到二次冷却剂上，再将其转移到涡轮发电机上。除燃料棒外，核心还含有减速剂，减慢了中子分裂铀原子时释放的电子。这减慢了核反应的速度，使反应堆不太容易受到与不受控制的链式反应相关的风险。燃料棒的密度也可以变化，以进一步控制反应速率。安全性是EPSILON 3200的另一个重要方面。它采用多层次的控制系统，监测反应堆的运行和任何辅助安全系统。这些也可用于在紧急情况下关闭反应堆。此外，反应堆设计为含有任何可能产生的放射性废物。反应堆既装有安全壳结构，又装在二级安全壳单元内。总之，ASM EPSILON 3200是一种轻水反应堆。它使用不锈钢压力容器来容纳反应堆堆芯的部件，周围环绕着一池轻水。使用调节器和控制系统确保核心中的链式反应保持在安全水平之内，并且在发生事故时安装了密封装置。考虑到所有这些因素，EPSILON 3200是一个安全可靠的电源来源。
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