二手 ASM EPSILON 3200 #9366109 待售
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ID: 9366109
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
EPI Reactor, 12"
CIM: SECS/GEM
GENMARK WHC Robot
ASYST FI Robot
(2) FOUPs
Purifier module
Remote AC Box
Door mounted on wafer transfer module
(25) Dual wafer load locks
BERNOULLI Wand
Front end interface:
(2) Isoport Load ports
(2) FOUP ID Readers
Side louvered panels / Flat top
4-Position light tower
Vacuum load locks
(2) BUSCH BC100
Reactor module:
Detector: HCl
TEK
Gas / Range
N2 / -
H2 / 100 SLM
HCL / 30 SLM
Low Flow HCL / 500 SCCM
Diborane / 20/200/200
AsH3/PH3 / 20/200/200 (with Teed inlet)
DCS / 500 SCCM
Silane / 500 SCCM
GeH4 / 200 SCCM (10% GeH4 in H2)
Pneumatic control
Celerity 8161
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 L
Options system: Window 9
Does not include quartz chamber
2006 vintage.
ASM EPSILON 3200是为材料测试、中子射线照相和中子活化分析等应用而设计的先进研究反应堆。它是一个3兆瓦的低功率反应堆，带有池式水箱和直径40厘米的堆芯，由20%浓缩的二氧化铀燃料提供燃料。该池容积为30立方米，反应堆处于亚临界状态运行，这意味着需要连续插入控制棒。反应堆由安装在堆芯顶部的预热器进行热保护，中子通量可以使用减速器、浓缩和燃料元素进料来改变。控制系统基于机电系统，有两个故障安全点和一个逻辑，允许反应堆在任何异常情况下恢复正常运行。安全系统旨在防止操作过程中可能发生的任何事故，如过度加热、燃料元件熔化、辐射泄漏或安全系统丢失。装有自动重新启动和反应堆扰乱系统的应急电源系统符合最高安全要求。EPSILON 3200是为研究核材料、中子活化、样品照射、中子射线照相、中子散射等中子相关应用而设计的可靠高效的研究反应堆。它能够提供多能量的高通量中子，用于不同的应用。它易于维护和操作，适合广泛的研究。
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