二手 ASM Epsilon E2000 #9213662 待售
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ID: 9213662
晶圆大小: 8"
EPI Reactor, 8"
Upgraded by ASM to E2000
Substrates: Si & SOI
Right hand configuration
CRT and keyboard
Dual floppy drive
Chiller: No
External gas cabinet: No
General description:
Single-wafer
High-temperature silicon for wafer preparation to low-temperature
Germanium (SiGe) for forming transistor strain layers
Includes:
Main body B
Control box
Gas cabinet
A/C Rack B
Work station
Misc B parts.
ASM Epsilon E2000是一种专门设计用于先进化学和材料加工的反应器。它的特点是一个装有中型高能量电子束源的中央腔室。这个束源能够以多种方式聚焦电子，这取决于实验的目的。此外，反应堆还包括一个或多个有助于成形光束的磁场，四对用于能量控制和微调的横向射频（Radio Frequency）线圈，以及一对用于聚焦和定位电子的线性射频线圈。Epsilon E2000是一种允许在各种应用中精确控制电子束的装置。它能够加速电子的能量高达6.5 MeV，并能以100-500 µm的精度控制光束的位置。ASM Epsilon E2000的设计使得它能够在各种各样的环境和设置中运行。它是模块化的,这意味着可以将其组件配置为适合应用程序的特定需求。此外,该系统的设计目的是在不损坏组件的情况下处理高水平的辐射,并设计为可承受高达150°C的温度和高达6 x 10-6 mb的低真空压力。Epsilon E2000可用于多种操作，包括材料加工、离子植入、加速器诊断和核材料分析。它非常适合研究材料的微观结构和纳米结构，表征了无法用常规方法分析的表面特性。此外,它还用于断层扫描等无损检测技术,以生成元件内部结构的高分辨率3D图像。ASM Epsilon E2000反应堆是一种高度通用、安全和可重新配置的装置。它是一种可靠准确的研究工具，可用于各种需要精确控制和操纵电子束的应用。该系统易于使用，功能广泛，非常适合研究和工业应用。
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