二手 ASM Epsilon E3200 #9196380 待售
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ID: 9196380
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
Chemical vapor deposition system, 12"
Epitaxial reactor
Reduced pressure
Chamber
Gas loops:
Nitrogen (N2) purge
Hydrogen (H2) carrier and purge
Hydrogen chloride (HCl) wafer and chamber etcher
Primary silicon source, dichlorosilane (SiH2Cl2, gas)
Low flow hydrogen chloride (HCl)
Auxiliary silicon source, silane (SiH4)
Germanium source, germane (GeH4)
SMIF System:
ASYST Integrated SMIF
Handler system:
ASYST FI Robot
GENMARK X-Fer robot
Configuration:
General system:
Model: E3200 RP
Right hand
Graphite:
Xycarb
Deep grid self-centering susceptor
Reactor pump:
BUSCH DS2000 supply
Front end interface:
(2) Load ports (RF): Isoport
(2) FOUP ID Readers (RF)
Side louvered panels / Flat top (Ballroom configuration)
User touch screen:
Installation:
Door mounted on wafer transfer module
Wafer handling section:
Dual 25 wafer loadlock
Vacuum load locks:
Level 2
Pumps for VLL:
Customer to supply:
(2) BUSCH BC100
Bernoulli wand
Reactor module:
HCl Detector-reactor
TEK
Gas control module:
Gases / Range
N2 / 100slm
H2 / 30slm
Low flow HCl / 500sccm
Dopant 1: Diborane / 20/200/200
Dopant 2: A5H3/PH3 / 20/200/200
AUX 1: DCS / 500sccm
AUX 2 (Reserve position for future silcore loop)
AUX 3: SiH4 / 500sccm
AUX 4: GeH4 / 50sccm (10% GeH4 in H2 with multi gas, multi-flow MFC)
Teed inlet on N-Dopant circuit:
Pneumatic control
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
UNIT / CELERITY Model 8161 (Digital)
Multi-gas, multi-flow for GeH4
Precision vent matching
Mass flow verifier:
Canister: 50 Liters
HCl Detector: Gas module
Power supply:
50Hz / 480VAC
2007 vintage.
ASM Epsilon E3200是由ASM Nuclear Technologies设计的发电反应堆。它是下一代反应堆的小型模块化反应堆（SMR），旨在为潜在能源需求提供安全、高效、经济高效的解决方桉。Epsilon E3200的电力范围为200 MW，采用整体压水堆（PWR）一次冷却技术。反应堆堆芯被高密度硼钢板墙包围，内部容纳一个包含低铅间隔栅格、控制棒、燃料通道和钙钙管的调节堆芯设备。这确保了反应堆的高效和安全运行。反应堆还配备了无源热去除系统，允许反应堆在所有电力损失的情况下冷却。该单元基于重力和自然循环原理，不使用动力。这项尖端技术使ASM Epsilon E3200目前市场上最安全的反应堆之一。Epsilon E3200还包括一个数字仪表和控制机，它允许实时监测反应堆参数。这有助于使反应堆保持峰值效率，并提供任何潜在问题或问题的预警。ASM Epsilon E3200已通过核管理委员会的广泛安全审查，并获得高级安全特性认证。Epsilon E3200具有先进的技术和安全功能,非常适合在偏远地区使用,在这些地区,使用传统电源的机会可能有限或根本不存在。这使得ASM Epsilon E3200那些寻求高效和安全电源的人的可行选择。
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