二手 ASM F120 #9384773 待售
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ID: 9384773
Thermal ALD system
Upto 400°C
(4) Reactors, 4" Single wafers
Deposition:
Al2O3: TMA and H20
TiN/TiO: TiCl and N2/O2
Uniformity: 80 - 90 mm.
ASM F120反应堆是一种粒子床反应堆，用于各种表面改性过程。这个反应堆利用了一个连续流动的微波等离子体过程，它涉及一个微波等离子体场和一个旋转的颗粒床的组合。这种反应器与传统的表面改性方法，如化学气相沉积（CVD）和火焰热解相比，提供了许多独特的好处，非常适合表面氧化和涂层、表面钝化、表面稳定和氮化硼掺杂等应用。ASM F 120反应器由三个主要部件组成--微波等离子体发生器、旋转颗粒床和工艺室。等离子体发生器利用磁控管产生热微波等离子体场注入反应堆腔室。旋转的颗粒床被用来运送等离子体场内的粒子，导致表面改性过程的效率和均匀性更高。向工艺室看，F120反应堆包含一个石英管，该石英管具有封闭的底端、可调节的喷嘴，以及四个用于温度计、气体入口、射频电源连接和其他馈电材料的端口。腔室还有一系列同心石英环和预热器。这些环产生径向压力梯度，预热器用于在微波将能量传递到粒子之前预热工艺室。F 120反应堆的特性可以通过使用各种参数进行微调，如温度、压力、气体流量、射频功率等。该反应堆的温度范围高达2000摄氏度，能够在极端条件下运行，并提供更高水平的均匀性和性能。这座反应堆还能够处理各种材料，包括金属、塑料和陶瓷材料。总之，ASM F120反应堆是一种用途广泛、效率高的颗粒床反应堆，用于多种用途和材料。该反应堆利用微波等离子体工艺提供均匀和有效的表面改性，与传统方法相比有许多好处。ASM F 120反应堆具有在极端条件下运行的能力和加工各种材料的能力，是表面工程和氮化硼掺杂领域用户的热门选择。
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