二手 ASM Polygon 8300 #9004107 待售
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ID: 9004107
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
EPI reactor, 12"
ATM front-end and dual FOUP loaders
Pulsar 3000G ALCVD high-k process module
Low profile vessel (LPV) configuration with one LPV vessel per chamber
(8) Liquid level sense for Pulsar (ea. source)
GEM300 host interface software
Increased recipe volume software capability
Multi chamber sequence software capability
Pulse count software upgrade
Interface A software capability (per tool price)
Green to green bundle
Wafer present at gate
Pulsar chamber kit with susceptor
Additional spares kit
Options:
Pulsar chamber kit with susceptor
LPV vessels
Hi-k pump line kit
Ran less than 100 wafers
2008 vintage.
ASM Polygon 8300反应堆是一种牢固安装、多用途、高压气体悬浮反应堆,设计用于聚合物构建块的作用,用于生产聚合物和进行反应工程实验。反应堆安装了机械搅拌器和基于改良流化床原理的气体喷射设备。反应器由一个圆柱形不锈钢压力容器和两个扁平不锈钢端法兰组成。压力容器提供8升的总内部容积,最大操作压力为8巴(g),最高可达225 °C。高性能桨和带气泡提升装置的气体提升系统允许高能量输入和溷合速率,从而实现更快的反应速率和更高的反应选择性。多边形8300装有开放式气体注入单元。这台机器由一个位于压力容器底部的多边形"气泡提升"喷射器和一个通向容器顶部的出口管组成,允许在反应堆中包含气体,而不会造成任何大的压力损失。反应堆的设计也是为了提供一个安全的工作环境,所有仪器、阀门、泵和电气部件都集成到容器本身中。压力容器及其末端法兰装有用于温度和压力传感器的标准热力瓶,以及用于备用安全的安全压力阀。独立压力表指示容器内的刀具压力。此外,ASM Polygon 8300反应器设计方便,效率最高.所有设备的设计都是为了最大限度地减少热量和压力损失,并方便快速启动时间。此外,反应堆还设计用于自动化运行和过程控制。多边形8300适用于在活动、连续流动的条件下运行。进料设备由垂直安装的蠕动泵组成,可输送试剂和反应产物。综上所述,ASM Polygon 8300反应堆是一种高效、多用途的反应堆,适用于聚合物合成、反应工程实验等应用。其开放式气体喷射模型提供了高能量的输入和溷合率,而压力容器及其综合安全设备则保证了运行过程中的安全。其自动化的操作和过程控制能力保证了最大的效率。
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