二手 ASML Frames #293652776 待售

ASML框架是半导体工业中使用的一种反应堆。它是一种用于制造半导体的工具，其元素的模式精确，用于电子元件。ASML框架分为CVD（化学气相沉积）和PECVD（等离子增强化学气相沉积）两种。CVD ASML框架是一种充满前体气体的水平真空室。腔室内部是一个在灯丝上方旋转的晶片，它被加热以产生热反应。反应导致预定材料（通常是硅）的薄膜沉积在晶圆表面上，从而形成半导体的后续模式。PECVD ASML框架的工作方式与CVD框架类似。在这个框架中，前体气体被来自等离子体发生器的放电电离。气体分子这种增加的反应性导致沉积速率比CVD更快，但限制了可以沉积的薄膜类型。它还需要更高级的元件来维护等离子体，从而导致框架的更高复杂度。在ASML框架类型中,整个过程都发生在真空室中。这是必不可少的，因为不同分子的反应性在很大程度上取决于环境的压力。由于该过程发生在真空中，没有空气可以进入，从而确保只有预定的分子用于沉积过程。晶片由卡盘保持在原位，卡盘将其浸入真空室中，防止其因热降解而变质。另外，卡盘能够使晶片靠着灯丝移动，进一步提高了沉积过程的精度。通常，运动由软件或电子控制。最后,最后一个保证胶片覆盖均匀的重要部件是一个保护瓶.这个瓶子装有溶剂，以保护晶片免受沉积过程中产生的高温的影响。瓶子还能防止空气中的颗粒沉降在晶圆表面，形成对空气中污染物的屏障。总之,框架是半导体工业中必不可少的组成部分.它们允许薄膜的精确沉积，这对于生产可靠和一致的电子元件至关重要。