二手 AVIZA / OMEGA 201 #9396141 待售

AVIZA/OMEGA 201是Zircon Corporation开发的一种反应堆，作为半导体制造和化学的工具。该反应堆使用了多达三个级别的等离子体工艺来实现其期望的结果：低压化学气相沉积（LPCVD）、化学等离子体蚀刻（CPE）和化学气相沉积（CVD）。反应堆是一个圆柱形的装置，大约高七英尺，宽两英尺，被封闭在一个由不锈钢制成的真空室内。AVIZA 201作为大气压力等离子体室运行，特别是在感应耦合电子循环中。从外部来看，该反应器有两个不同的内部过程端口：一个用于加工气体入口，一个用于真空泵。反应器的内部由电源、真空电源、腔壁和电极组成，以方便电子循环。这些组成部分中的每一个都协同工作以创造所需的结果。OMEGA 201中使用的电源是一种中频、电压控制的发电机，能够提供高达1000瓦的功率。这种动力用于在反应堆室内创造等离子环境。真空电源将腔室向下泵送至20毫巴或以下的压力，从而为过程提供稳定的大气环境。腔壁和电极由金属制成，并涂有耐热和耐化学降解的材料。电极用于产生电子循环，电能被传递到电极，并通过激发过程气体进入高能状态而产生等离子体。该等离子体用于在反应器室内产生所需的反应，通过CVD、CPE或LPCVD工艺。201的设计旨在为半导体制造和化学提供临时和准确的结果。精确的电源和高达三级的等离子体处理为化学反应创造了一个最佳环境，该环境已得到优化，以达到最大收率。该反应堆已成功用于制造半导体和高科技产品。