二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #293639202 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS
ID: 293639202
晶圆大小: 12"
CVD System, 12".
BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一种反应堆,设计用于处理一系列气体和液体形式的前体材料。该反应堆的设计目的是提供高精度的高温,从而能够高效生产各种材料。来自BROOKS AUTOMATION的Backbone-VTS反应堆利用各种先进技术提供高效的设备,用于工业应用。系统的核心是为了热均匀性而热控的旋转基座。这一基地是一系列crucibles的所在地,每个crucibles都具有高达500 mL的工作能力。为了确保准确性,BROOKS AUTOMATION主干-VTS反应堆依赖于一个保护良好的温度控制单元。其冷热气体的优化循环使其达到从室温到高达1200摄氏度的温度,精度高达其最大范围的0.2%。温度可以手动改变,也可以使用反应堆的编程设置。利用编程函数,操作员可以为反应堆预置多达10条温度曲线,从而在广泛的工艺参数中实现高效可靠的运行。Backbone-VTS还具有多种控制功能和独特的状态监控仪器,允许操作员监控整个反应过程。这包括等离子体发射监测、热平衡温度控制、接触热电偶或热电偶温度控制。同时,额外的过程控制参数如真空压力、气流、搅拌速率等都可以通过机器的人性化界面进行调节或监控。总体而言,BROOKS AUTOMATION主干-VTS反应堆是各种工业应用的高效可靠的工具。凭借其先进的温度控制资产、一系列监控功能和用户友好的界面,它为各种前体材料提供了一个快速、简便的解决方桉。
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