二手 BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS #9259772 待售

BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS是一种先进的反应堆，用于各种研究和制造应用。它由具有专有模块化控制旁路架构和低压高压阀的真空室组成。该设备旨在优化过程控制和反应堆性能，是中和、加氢和电极制造的理想设备。骨架-VTS可以支持包括CVD、PE、POV和CPC在内的反应。在最小压力为1毫巴的情况下，反应器能够准确可靠地再现得到的工艺和材料性能。其高效而坚固的设计，能够适应各种类型的温度控制系统和压力传感器，提供了必要的灵活性，以适应特定的需求定制过程。反应堆还设有多个独立运行的淋浴总成，每个总成都装有一个单独的烧蚀室和一个集成电源。这样可以精确控制工艺时间、温度和压力参数。此外，先进的耐久性特征被纳入设计，使整个反应堆腔室的温度一致可靠。该单元提供了极其高效的真空控制。它内置的低压控制使用户能够控制内部压力，消除因过程故障导致的突然压力下降，并产生卓越的可重复性。此外，集成的冷水和/或热水循环机器可确保整个反应室的温度分布均匀。BROOKS AUTOMATION Backbone-VTS还集成了额外的用户友好功能,如陶瓷尖端石英晶体传感器、蠕动泵、数字读出（DRO）工具以及过程容错和过程容错过程。多种配件，如手套箱和附加传感器，可以集成到设计中，允许多反应堆处理配置。上述所有功能都包含在Backbon@@-VTS中，Backbone@@-VTS是为满足最高质量和性能标准而设计的尖端反应堆。易于安装和操作,这种强大而高效的资产是所有研究和制造应用程序的理想选择。